Видеомикроскоп ТЗТЕК серия VMZ

VMZ (Zenith) – это видеоизмерительная машина разработанная для высокоточного измерения деталей для полупроводниковой промышленности, производства микросхем и оптической связи. Прибор оснащен зум-объективом с высоким разрешением и объективом с  фиксированным увеличением. ВИМ серии VMZ отвечает самым высоким требованиям промышленности как в части высокоточных измерений, так и высокой производительности

Особенности и характеристики:

• использование гранитной конструкции для повышения стабильности измерений;
• использование высокоточных отсчетных шкал Renishaw (0.01 мкм) позволяет добиваться высокой точности и повторяемости;
• использование высокоточной оптики и цифровых камер позволяет минимизировать погрешность измерений до 0,7 мкм(!);
• объектив с автоматическим зумом обеспечивает полностью автоматический процесс измерения;
• сверхточные направляющие  и прецизионная система привода (линейные моторы).
• быстрая фокусировка в течение 2 секунд значительно повышает эффективность измерений
• режим измерения без остановки оптического датчика «flying-snap» для повышения производительности измерения  в 5-10 раз!
• два оптических датчика для версии Т2 и Т3 с увеличением до 6000х!
• диапазон измерения: 400х300х135 мм и 400х300х200 мм,
• погрешность: MPE E1 (X или Y) = 0,7+L/300 мкм !
• погрешность: MPE E2 (XY) = 0,8+L/300 мкм;  MPE E1(Z)= от 0,9+L/150 мкм
• погрешность измерения угла - +/-10”